一、清華大學IC裝備超精密機械及測控研究室介紹

清華大學朱煜教授帶領的國家重點領域“IC裝備精密機械與測控”創(chuàng)新團隊(簡稱IC裝備團隊)，核心團隊包括11名教師、20多名在讀博士/碩士研究生、30多名工程師。IC裝備團隊負責人朱煜教授現(xiàn)為機電所所長，入選國家“萬人計劃”首批科技創(chuàng)新領軍人才，是02國家重大專項總體專家組副組長。IC團隊圍繞IC制造裝備國家重大戰(zhàn)略需求，針對光刻機工件臺納米級運動精度的技術目標，開展了超精密機械、測量、控制以及系統(tǒng)集成的協(xié)同創(chuàng)新研究，在基礎理論、重大技術攻關及研發(fā)方面取得優(yōu)秀成果，對相關領域與產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生重要影響。2004年研制成功國內(nèi)首臺10nm精度同步掃描氣浮運動試驗系統(tǒng)；2008年研制出實現(xiàn)±2nm定位精度微動臺；2009年承擔02國家科技重大專項雙工件臺項目；2011年研制成功我國第一臺光刻機雙工件臺樣機；2015年承擔的02專項項目完成全部考核指標，該項目的完成標志著我國成為世界上少數(shù)可以研制光刻機雙工件臺這一超精密機械與測控技術領域最尖端系統(tǒng)的國家。IC團隊重視基礎理論和關鍵技術研究，著重培養(yǎng)超精密動力學系統(tǒng)與控制、納米精度工程與測控技術、IC制造裝備精密機電系統(tǒng)方面的領軍人物和高端專業(yè)技術人才，提供先進的科研平臺和教學實踐基地。

二、研究領域

研究室與北京華卓精科科技股份有限公司聯(lián)合承擔國家02重大專項，研制高端光刻機雙工件臺超精密平面光柵位置系統(tǒng)和用于制造大尺寸全息平面光柵的掃描干涉光刻系統(tǒng)。

對于高端光刻機雙工件臺超精密平面光柵位置測量系統(tǒng)，主要開展超精密平面光柵讀數(shù)頭研制、高速高分辨率電子相位卡研制、平面光柵位置測量系統(tǒng)精度理論研究，突破相應的關鍵技術，為高端光刻機雙工件臺平面光柵位置測量系統(tǒng)產(chǎn)品設計提供支撐。

對于掃描干涉光刻系統(tǒng)，主要開展光學自動對準/波前測量/周期測量/條紋鎖定等分系統(tǒng)的研制、掃描干涉光刻系統(tǒng)精度理論研究，突破相應的關鍵技術，為掃描干涉光刻系統(tǒng)產(chǎn)品設計提供支撐。

現(xiàn)面向海、內(nèi)外公開招聘優(yōu)秀博士后3名。

三、崗位要求

（1）三年內(nèi)獲得或近期即將獲得光學工程/精密機械/應用物理/自動化/電子/控制工程等相關領域的博士學位；

（2）具有強烈的科學研究興趣，良好的專業(yè)素質(zhì)，以及較強的實驗設計和動手能力；

（3）具備較強的語言表達和溝通能力，責任心強，工作踏實主動，團隊合作精神佳；

（4）具有光機電一體化多學科背景者優(yōu)先；

（5）擁有超精密光學干涉測量專業(yè)知識和研發(fā)經(jīng)歷者優(yōu)先。

四、崗位待遇

（1）享受清華大學博士后待遇（年薪10萬-15萬）和課題組津貼（每年至少2.4萬）；課題組將根據(jù)應聘者的能力和業(yè)績發(fā)放額外獎金；

（2）享受清華大學博士后其他福利政策，包括學校參照校內(nèi)同級人員的標準為博士后繳納“五險一金”，享受教學、科研獎勵政策及子女可在附屬學校、幼兒園入學、入托等；

（3）博士后進站后將獲得與課題相關的基礎研究訓練，協(xié)助PI開展課題研究，提供海外學術交流機會，相對獨立地承擔相關科研工作，協(xié)助指導研究生，參與申請科研經(jīng)費及管理。

五、項目資助

鼓勵并推薦博士后申報各類博士后資助項目，獲批者同時享受項目資助經(jīng)費，項目資助情況如下：

（1）國家“博士后創(chuàng)新人才支持計劃”，國家給予兩年60萬元資助；

（2）清華大學博士后支持計劃：

①清華大學博士后支持計劃（海外），兩年60萬元人民幣/兩年40萬元人民幣/兩年20萬元人民幣；

②清華大學博士后支持計劃（國內(nèi)）：“博士后創(chuàng)新人才資助計劃”——兩年50萬元，“優(yōu)秀博士畢業(yè)生”——兩年30萬元。

（3）中國博士后科學基金項目。特別資助：15萬元；面上一等資助：8萬元；面上二等資助：5萬元；

（4）“博士后國際交流計劃學術交流項目”，給予每人3萬元資助。

六、聯(lián)系方式

凡符合招聘崗位要求且有意向者，請通過電子郵件（主題請注明“博士后申請”）發(fā)送個人簡歷和聯(lián)系方式等相關資料至：zm01@ic.me.tsinghua.edu.cn。如獲面試邀約，請攜帶個人簡歷、博士論文等相關資料。

為防止簡歷投遞丟失請抄送一份至：boshijob@126.com（郵件標題格式：應聘職位名稱+姓名+學歷+專業(yè)+中國博士人才網(wǎng)）